吉時(shí)利儀器提升S530參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)的吞吐量和準(zhǔn)確度

吉時(shí)利儀器公司，作為先進(jìn)電子測(cè)試儀器和系統(tǒng)的當(dāng)先制造商，日前宣布半導(dǎo)體行業(yè)經(jīng)濟(jì)有效的全自動(dòng)化生產(chǎn)參數(shù)測(cè)試方案——S530參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)產(chǎn)品線在幾個(gè)方面的性能提升。這些性能提升包括增加了吉時(shí)利新的高吞吐量開(kāi)關(guān)主機(jī)用于高完整性的信號(hào)切換，探針卡上的*開(kāi)爾文測(cè)量提高低阻值準(zhǔn)確度、新的硬件保護(hù)模塊防止高靈敏度系統(tǒng)儀器受高電壓影響，以及齊全的“探測(cè)”系統(tǒng)規(guī)范和診斷工具。

　　S530系統(tǒng)專(zhuān)門(mén)針對(duì)必須適應(yīng)各種產(chǎn)品組合或者在寬應(yīng)用靈活性和快速開(kāi)發(fā)測(cè)試方案非常關(guān)鍵的生產(chǎn)參數(shù)測(cè)試環(huán)境進(jìn)行了優(yōu)化。S530測(cè)試儀采用成熟的源-測(cè)量技術(shù)和高保真度信號(hào)通路確保業(yè)界當(dāng)先的測(cè)量準(zhǔn)確度和可重復(fù)性。

　　選擇兩種功能強(qiáng)大的參數(shù)測(cè)試配置

　　提供兩種不同配置的S530系統(tǒng)：低電流配置用于特性測(cè)量，例如亞閾值漏電、柵極漏電等;高電壓配置用于GaN、SiC和Si LDMOS功率器件所需的較困難的故障和漏電測(cè)試。S530低電流系統(tǒng)(2~8 SMU通道)提供亞皮安測(cè)量分辨率和低電流防護(hù)一直到探針引腳。S530高壓系統(tǒng)(3~7 SMU通道)帶有源-測(cè)量單元(SMU)，能輸出1000V@20mA(20W大值)。在合理配置下，S530系統(tǒng)能實(shí)現(xiàn)過(guò)程控制監(jiān)控、過(guò)程可靠性監(jiān)控和器件特性分析所需的全部DC和C-V測(cè)量應(yīng)用。

　　專(zhuān)為高度混合的測(cè)試環(huán)境下實(shí)現(xiàn)經(jīng)濟(jì)有效的操作優(yōu)化

　　在整個(gè)測(cè)試方案開(kāi)發(fā)過(guò)程中，S530參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)能及時(shí)向工程師提供反饋，因而加速并簡(jiǎn)化了晶圓與測(cè)試方案的設(shè)置。例如，控制S530系統(tǒng)流水線測(cè)試方案開(kāi)發(fā)的自動(dòng)特性分析套件(ACS)軟件支持新的測(cè)試腳本進(jìn)行交互式測(cè)試并且在全自動(dòng)模式下不影響吞吐量。ACS還提供離線式測(cè)試方案開(kāi)發(fā)和測(cè)試結(jié)果分析。

　　功能強(qiáng)大的ACS軟件

　　與其它幾款成熟的吉時(shí)利測(cè)試系統(tǒng)一樣，S530系統(tǒng)也使用功能強(qiáng)大的ACS 4.3版本軟件，這加強(qiáng)了實(shí)驗(yàn)室與圓廠的聯(lián)系并加快了系統(tǒng)學(xué)習(xí)的速度。由于ACS在一個(gè)集成包中結(jié)合了全部自動(dòng)參數(shù)測(cè)試所需的元素，因而使S530系統(tǒng)的效率和靈活性大化。

　　業(yè)內(nèi)功能強(qiáng)大的高電壓參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)

　　所有S530系統(tǒng)都配備了高達(dá)20W源或阱能力(在200V和20V量程下)的高功率SMU，適于當(dāng)今移動(dòng)設(shè)備中流行的高功率器件和電路的完整特性分析。無(wú)論在LDMOS Si測(cè)試還是在GaN BJT測(cè)試應(yīng)用中，更高的功率性能可以更加深入地了解器件性能。還能確保S530系統(tǒng)在測(cè)試高功率器件時(shí)不會(huì)影響監(jiān)控主流器件過(guò)程所需的低電流亞皮安級(jí)靈敏度。S530高壓系統(tǒng)是現(xiàn)有僅有一款能提供1kV到任何探針卡引腳(多32引腳)的參數(shù)測(cè)試儀。它能在一次完成高電壓和低電流的靈敏測(cè)量，從而實(shí)現(xiàn)高功率器件準(zhǔn)確特性分析。此系統(tǒng)的高電壓SMU能輸出1000V@20mA(20W大值)。

　　高度保真的信號(hào)通路提高測(cè)量完整性

　　每個(gè)S530測(cè)試系統(tǒng)都采用高性能開(kāi)關(guān)矩陣和高度保真的信號(hào)通路以便在儀器和測(cè)試引腳之間直接傳送信號(hào)。通過(guò)設(shè)定電流和電壓上限并限定電流失調(diào)的低電平測(cè)量，這些通路的性能將直接影響測(cè)試系統(tǒng)整體的性能。S530具有8條高度保真的通路可用于儀器與引腳之間的動(dòng)態(tài)連接。例如，每次多能將8臺(tái)SMU連接至任意引腳(或一組引腳)。該低電流系統(tǒng)對(duì)于全部8條通路都具有一致的性能;高壓系統(tǒng)具有2條高壓/低漏電通路、4條通用通路和2條C-V通路。這兩種系統(tǒng)都支持高2MHz的C-V測(cè)量。

　　基于成熟的SMU技術(shù)

　　S530參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)內(nèi)建的全部源-測(cè)量單元(SMU)都基于吉時(shí)利產(chǎn)品質(zhì)量保障的儀器技術(shù)以確保較高的測(cè)量準(zhǔn)確度和可重復(fù)性并延長(zhǎng)硬件的壽命。這些SMU是四象限源，所以能輸出或吸收(源或阱)電流或電壓。除了精密源電路外，這些SMU還包括全量程的可編程范圍(容限)，這有助于防止因設(shè)備故障而損壞設(shè)備和探針尖。每臺(tái)SMU還能在源的同時(shí)測(cè)量電壓和電流，這確保參數(shù)計(jì)算反映了實(shí)際情況而不是設(shè)定的條件。

　　電容-電壓(C-V)單元選件

　　全部S530系統(tǒng)都能配備高速電容表用于在任意引腳進(jìn)行高2MHz的C-V測(cè)量。此C-V單元在1MHz條件下能測(cè)量10pF電容并具有3%的準(zhǔn)確度。

　　產(chǎn)品質(zhì)量保障功能

　　S530參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)包括豐富的產(chǎn)品質(zhì)量保障功能，包括內(nèi)建診斷、系統(tǒng)指標(biāo)至探針卡并兼容CE、SemiS2和S8等行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。ACS的“指令總線”控制接口簡(jiǎn)化了選配定制用戶接口或工廠自動(dòng)化主機(jī)控制器。